پمپ های وکیوم مینیاتوری که اغلب به دلیل اندازه کوچک آنها پمپ های خلاء کوچک نامیده می شوند، به شرح زیر تعریف می شوند: پمپ خلاء مینیاتوری دارای یک ورودی و یک خروجی است که می تواند به طور مداوم یک خلاء یا فشار منفی در ورودی و یک فشار مثبت خفیف در خروجی ایجاد کند. محیط کار در درجه اول گاز است و یک ابزار فشرده است.
با اتصال یک ظرف مهر و موم شده (در ابتدا در فشار اتمسفر 100 کیلو پاسکال) به یک پمپ خلاء مینیاتوری و تخلیه مداوم آن، در نهایت فشار گاز داخل ظرف مهر و موم شده به زیر فشار اتمسفر می رسد و به فشار مطلق 60 کیلو پاسکال می رسد. علاوه بر این، از طریق پیشرفت‌های تکنولوژیکی خاص، علاوه بر پمپ‌های خلاء مینیاتوری تک‌کاره، پمپ‌های پمپاژ و تخلیه دو منظوره می‌توان توسعه داد (یعنی انتهای اگزوز می‌تواند فشار مثبت نسبتاً زیادی ایجاد کند)، برای فشار، پر کردن، غلبه بر مقاومت سیستم، و غیره استفاده می‌شود. پمپ‌های خلاء، که می‌توانند در موقعیت‌هایی استفاده شوند که{10}به درازمدت بدون کار یا کارکرد خشک نیاز دارند، برخلاف پمپ‌های آب معمولی که در اثر بی‌حرکتی یا کارکرد خشک آسیب می‌بینند.